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150分子泵套裝機組，前級采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強為1X10-4Pa

氣體配比器質量流量計，采用觸摸屏控制，五段時間調節不同流量，使配氣更及時，更簡單，

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大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，最大功率1000w，配有水冷機接口，可長時間運行

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